Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=Неежмаков К$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 3
Представлено документи з 1 до 3
|
1. |
Неежмаков К. П. Исследование процедуры калибровки растровых электронных микроскопов с использованием тест-объекта МШПС-2.0 [Електронний ресурс] / К. П. Неежмаков // Український метрологічний журнал. - 2012. - № 2. - С. 34-37. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Umlzh_2012_2_8
| 2. |
Довженко Я. С. Экспериментальные исследования влияния геометрии индентора при измерении твердости [Електронний ресурс] / Я. С. Довженко, К. П. Неежмаков, В. В. Скляров // Український метрологічний журнал. - 2012. - № 3. - С. 43-47. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Umlzh_2012_3_9
| 3. |
Неежмаков К. П. Перспективы развития нанометрологии в Украине с использованием растровых электронных микроскопов [Електронний ресурс] / К. П. Неежмаков // Системи обробки інформації. - 2011. - Вип. 6. - С. 181-184. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/soi_2011_6_47 Развитие микроэлектроники, микромеханики, нанотехнологий требует совершенствования методов измерения линейных размеров элементов топологии микросхем, анализа поверхностных структур, а также требует средств измерений, подтверждающих достоверность результатов измерений размеров реальных объектов и их элементного состава. Измерения линейных размеров в микронном и субмикронном диапазонах методом растровой электронной микроскопии на сегодняшний день считаются одними из наиболее точных. Следует отметить, что ведущие страны мира, занимающие ключевые позиции в микроэлектронике, вопросам внедрения метрологии в практику линейных измерений в микро- и нанометровом диапазонах уделяют первостепенное значение.
|
|
|